超小光斑,超高横向分辨率: 最小光斑直径为5.8μm

超强度特性, 最大镜面检测角度可达±60°

无测量盲区,可高精度测量 曲面、凹坑等各种形状的物体

适用于各种材料包括 镜面,高透明材料, 液体以及多重反射物体

丰富的对外接口: 支持多路输入输出10;支持RS232和以太网通信模式

工作距离

12.8mm

16mm

测量范围

3.5mm

4mm

角度特性

±60°

±25°

数值孔径

0.866

0.423

光斑大小

5.8μm

12μm

轴向分辨率

0.006μm

0.006μm

直线性

0.01%F.S.

0.01%F.S.

最小可测量厚度

150μm

130μm

直径

83mm

30mm

长度

257mm

80mm

重量

2300g

95g